光刻設備產業技術創新戰略聯盟2014年工作總結及2015年工作要點

　　2014年度光刻設備產業技術創新戰略聯盟在科技部的支持下，聯合聯盟內部各成員單位堅持 “產-學-研” 新模式，不斷開拓工作思路，積極探索聯盟持續發展的途徑，各項工作取得了良好的成效，現總結如下：

　　一、聯盟基本情況

　　光刻設備產業技術創新戰略聯盟現由26家單位組成，其中企業單位12家、高校7家、研究所7家，上海微電子裝備有限公司為首屆理事會理事長單位。光刻設備聯盟依托理事長單位上海微電子裝備有限公司建立了聯盟秘書處。聯盟秘書處現有秘書長和副秘書長各一人，專職秘書一人。

　　聯盟成員共同承擔了國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”項目12項，開展先進封裝光刻機、干式投影光刻機、浸沒光刻機和EUV光刻機整機等集成電路最關鍵制造裝備的研發。2014年成功推出具備1um的光刻分辨率的，面向TSV應用的SSB500/30先進封裝光刻機，目前國內市場占有率已90%以上，在國際同類產品中處于先進水平。

　　二、聯盟的創新活動及效果

　　1、完成聯盟評估工作

　　2013年11月12日，科技部創新體系建設辦公室發文關于組織開展第二批國家產業技術創新戰略聯盟評估工作的通知(國科體函[2013]10號)，通知中要求，2014年1月15日前完成聯盟自評估材料上報收集工作。

　　聯盟秘書處嚴格按照通知要求，積極組織各聯盟成員單位填寫了調查問卷，請各成員單位提供相關數據，從創新活動、創新績效、服務產業，運行管理、利益保障等方面對聯盟近三年的工作和取得的成效進行評估，秘書處在匯總各成員單位數據和材料的基礎上填寫了《光刻設備產業技術創新戰略聯盟自評估報告》，并提供必要的證明材料報國家科技部相關部門。

　　2、組織召開“集成電路裝備產業技術創新支撐體系研究專題報告”論證會

　　結合國產集成電路裝備產業技術創新支撐體系專題研究的進展情況，國家集成電路封測產業鏈技術創新戰略聯盟、光刻設備產業技術創新戰略聯盟于2014年3月31日在北京召開國產集成電路裝備產業技術創新支撐體系研究報告論證匯報會。

　　國家集成電路封測產業鏈技術創新聯盟秘書長、報告負責人于燮康主持會議并介紹了專題進展情況，光刻設備產業技術創新戰略聯盟秘書長、報告執筆人李小平用PPT介紹了專題研究報告。科技部李新男巡視員、02專項總體組組長葉甜春總師、科技部發展戰略研究院劉東研究員、清華大學朱煜教授等專家受邀為本專題報告摘要進行論證，主要針對本專題中期評審后，對專題研究報告進行了修改，并總結出了部分研究成果和主要觀點，對此建議進行進一步研討和論證;研討集成電路產業扶持政策出臺對本專題的影響與作用;進一步完善本專題報告研討建議。會議以創新技術的供給、創新技術的產業化、技術創新的服務、政策環境與社會氛圍(3加1)的模式進行了廣泛而深度的論證。中國科學技術發展戰略研究院李新男司長做總結性發言，他感謝報告編寫組一年來付出的辛勤勞動，同時對多位專家提出的建議表示認可，會后希望報告編寫組成員根據專家提出的意見進行進一步修訂，為完善集成電路裝備產業技術創新支撐體系建設，提供堅實的技術和組織保障。

　　3、完成《集成電路裝備產業技術創新支撐體系研究》專題報告的驗收

　　根據《關于開展<我國工業領域產業技術創新支撐體系建設研究>項目專題驗收工作的通知》，項目辦于2014年6月23-25日在京組織召開了專題驗收專家組成立暨首批專題驗收會議。會上，國家集成電路封測產業鏈技術創新聯盟秘書長、報告負責人于燮康介紹了專題進展情況，光刻設備產業技術創新戰略聯盟秘書長、報告執筆人李小平匯報了專題研究報告。專題研究報告介紹了集成電路裝備產業范圍與特征、國外集成電路裝備產業技術創新支撐體系、我國現有集成電路裝備產業技術創新支撐體系，分析了典型國家創新支撐體系特點，并與我國集成電路裝備產業技術創新支撐體系進行了比較，提出了重構我國國家創新支撐體系的建議。

　　驗收專家組一致認為報告的研究內容層次清楚、研究框架合理，對美國、歐洲和日本產業技術創新支撐體系的情況表述清晰，資料數據詳實，分析我國產業技術創新支撐體系面臨的主要問題透徹，建議具體，措施辦法明確。希望報告編寫組成員根據專家提出的意見進行進一步修訂和完善。

　　4、集成電路裝備產業技術創新支撐體系研究專題一次性通過驗收

　　據《我國工業領域產業技術創新支撐體系建設研究》項目辦綜合組2014年12月12日消息，《我國工業領域產業技術創新支撐體系建設研究》第一輪24 個專題的驗收工作已經全部結束。由國家集成電路封測產業鏈技術創新戰略聯盟和光刻設備產業技術創新戰略聯盟聯合承擔的《我國工業領域產業技術創新支撐體系建設研究》——集成電路裝備產業技術創新支撐體系研究專題獲得一次性通過驗收。該專題自2013年1月5日啟動以來，歷時兩年經過業內專家、學者、企業領導多次論證研討，反復征求意見;從初稿到終稿，從中期評審到一次性驗收通過反復修改，終于順利完成該任務。

　　《我國工業領域產業技術創新支撐體系建設研究》第一輪專題驗收結果如下：集成電路裝備、紡織、農機裝備等3個專題一次性通過驗收。14 個專題通過驗收，但需根據驗收意見修改完善，向項目辦匯報一次;7 個專題需要根據驗收意見修改后再組織一次驗收。

　　5、組織參加聯盟成員承擔的國家項目進度會議

　　聯盟成員共同承擔了國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”項目12項，開展先進封裝光刻機、干式投影光刻機、浸沒光刻機和EUV光刻機整機等集成電路最關鍵制造裝備的研發，聯盟成員共同承擔了整機及關鍵零部件系統的研發，聯盟秘書處很好地發揮了項目組織者的作用，每個季度召開季度例會，加強對課題執行團隊和合作單位的管理和溝通，開展技術討論和協調研發進度。

　　6、出刊《聯盟簡訊》

　　為加強聯盟成員之間的交流，深化之間的合作，聯盟秘書處于成立之初開始定期編寫《聯盟簡訊》，傳達國家有關光刻設備發展的政策和法規，發布成員單位02專項進展情況和最新科技成果，介紹光刻設備技術與產業全球動態。聯盟成員積極參與、踴躍投稿，《簡訊》由聯盟秘書處負責組織編寫出刊，2014年共計編寫了2期，并同時抄報國家科技部、國家科技重大專項實施管理辦公室、上海市科學技術委員會等上級領導及相關部門。《聯盟信息快遞》為聯盟成員搭建了溝通平臺，實現信息在聯盟成員間的快速傳播和共享，宣傳了聯盟活動，提高了聯盟影響力。

　　7、維護聯盟專利數據庫系統

　　通過聯盟成員單位的共同努力，聯盟已經收集了成員單位的知識產權信息，建立了聯盟專利數據庫，通過專利庫促進知識產權應用和擴散，全面提高知識產權創造、運用、保護和管理能力。目前數據庫錄入與更新了國內外所有與投影光刻機相關的專利近13萬件，其中聯盟成員近三年的知識產權(含知識產權申請)共有963項，其中上海微電子裝備有限公司615項，其他7家成員單位348項。數據庫建立了產品系列、產品系統、系統功能和技術類別四層框架結構，內容涉及申請事項、評價等級、技術相關、等多項信息。

　　三、新的技術突破

　　光刻設備聯盟以研發重大光刻設備系列產品，解決嚴重制約我國集成電路產業發展的難題為宗旨，聯盟緊緊圍繞光刻設備的技術特征，統一指揮，在企業、研究所、高校間積極開展技術交流及合作，已取得了一些成效：

　　1、聯盟成員單位共同承擔的高端光刻機研制項目已進入最后集成調試階段，預計在2015年底進入國內大線進行工藝驗證。高端光刻機研制項目實施6年來，已取得多項關鍵技術的突破，形成了500多項專利和多項技術支撐，保證了依托單位產品的開發、產業化，并為后續啟動的國家專項其他任務奠定了良好基礎。

　　2、IC先進封裝技術是目前超摩爾定律的唯一技術趨勢，也是我國集成電路發展重點，先進封裝光刻機主要面向集成電路先進封裝等企業的IC后道光刻應用。2014年完成交付海內外用戶先進封裝光刻機產品12臺(累計交付26臺)，占據了中國大陸90%以上的市場，在國際同類產品中處于先進水平，這一發明徹底打破國內長期以來依賴進口的局面。2014年10月，先進封裝投影光刻機產品通過國際SMEI S2 安全認證(國際行業認證)。

　　3、聯盟成員單位開發的面向LED應用的光刻機產品已形成小批量產能。高亮度LED光刻機繼2013年首臺面向客戶銷售后，2014年已經實現4臺銷售。該光刻機具備0.8um的光刻分辨率，支持大于1.5um的大翹曲藍寶石襯底曝光能力，可廣泛應用于高亮LED PSS工藝、細電極工藝，以及MEMS制造工藝等，同樣具有廣泛的應用領域和快速增長的市場前景。高亮度LED光刻機自交付客戶量產以來，使客戶的良率水平從原來的90%躍升到95%以上，受到客戶好評。此款設備有望徹底超越國外競爭者的產品，引領市場。2014年2月，該款光刻機產品被認定為“2013年度上海市專利新產品”。2014年11月，該款產品榮獲第11屆LED前瞻技術與市場研討會 “最佳LED設備技術創新獎”。

　　四、存在問題

　　1、隨著聯盟各項工作的全面展開，雖然在這個過程中我們已就原有的一些規章制度進行了進一步的完善，但這還是遠遠不夠的，今年繼續根據聯盟運行和形式發展，完善聯盟理事會、專家技術委員會、秘書處等的運行和工作制度，不斷優化聯盟運行與管理機制。

　　2、在推進聯盟成員間交流協作方面，聯盟成員單位之間的合作模式仍需要深入探索，特別是聯盟成員間已有知識產權共享、新知識產權分配、利益共享方面，特別是對外知識和效益共享方面仍需要逐步摸索。

　　2015年重點開展以下工作：

　　1、已經在探討建立獨立法人，解決知識產權共享問題。建立獨立法人，維護聯盟成員共同的利益，降低我國光刻設備參與全球市場競爭過程中的知識產權訴訟風險。

　　2、繼續組織實施國家科技重大專項任務，提升產業創新能力。組織實施好 “極大規模集成電路制造裝備及成套工藝” 國家科技重大專項，繼續推進前道光刻機項目、先進封裝光刻機項目等，為現代先進制造裝備提供技術支撐。

　　3、積極組織聯盟成員單位間交流與合作，促進產業發展。發揮聯盟的產學研用合作優勢，優化創新資源要素，突破行業技術難關，研發完成完整的光刻設備系列產品。

　　光刻設備產業技術創新戰略聯盟

　　二〇一五年六月八日