光刻設備產業技術創新戰略聯盟2012年工作總結

 　　一、聯盟基本情況

　　光刻設備產業技術創新戰略聯盟(以下簡稱：光刻設備聯盟)于2010年11月5日成立并召開了首屆理事會第一次會議。首屆理事會由25家單位組成，其中企業單位12家、高校6家、研究所7家，上海微電子裝備有限公司為首屆理事會理事長單位，上海集成電路研發中心有限公司等十家單位為首屆理事會副理事長單位，并成立了首屆聯盟專家委員會。光刻設備聯盟依托理事長單位上海微電子裝備有限公司建立了聯盟秘書處。聯盟秘書處現有秘書長和副秘書長各一人，專職秘書一人。2012年光刻設備聯盟被科技部批準為國家試點聯盟。

　　聯盟成員共同承擔了國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”項目9項，開展凸點封裝光刻機、干式投影光刻機、浸沒光刻機和EUV光刻機整機等集成電路最關鍵制造裝備的研發，其中凸點封裝光刻機實現了批量銷售，進入臺灣市場，具備與國外同類產品競爭能力，并被列為國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”標志性成果。

　　在2012年第十四屆中國國際工業博覽會上，光刻設備聯盟成員單位獲得“2012中國工博會”4個金獎中的兩個，聯盟成員單位上海微電子裝備有限公司的“先進封裝光刻機”及沈陽新松機器人自動化股份有限公司的“全數字化機器人智能制造系統”均榮獲金獎。

　　二、聯盟產業技術創新活動

　　1、正在組織編寫創新支撐體系研究報告

　　從2012年11月開始，光刻設備聯盟與集成電路封測產業鏈技術創新聯盟共同承擔了中國工程院專題《裝備制造產業技術創新支撐體系建設研究》中子專題《集成電路裝備制造產業技術創新支撐體系建設研究》，正在組織編寫了《集成電路裝備產業技術創新支撐體系研究報告》，已經從全國有關微電子企業、高校和研究所組織專家成立了研究報告編寫組，并在2013年1月5日召開了編寫組會議，預計2013年3月份完成討論稿，2013年6月定稿。

　　2、召開了國產光刻機市場與應用研討會

　　為了推進國產光刻機的研發與應用進程，充分了解IC制造業對國產光刻機的需求，完善國家02科技重大專項的光刻機發展路線圖，光刻設備產業技術創新戰略聯盟于2012年11月8日在上海微電子裝備有限公司召開國產光刻機市場與應用研討會。會議由聯盟秘書長李小平主持。來自中芯國際、上海華力、華虹NEC、上海先進半導體、復旦大學、上海市集成電路行業協會、上海光機所、上海微電子裝備有限公司8家單位的專家參加了會議。座談會圍繞國產光刻機技術與產業發展路線，國產光刻機客戶與市場應用進行了討論。

　　3、組織參加聯盟成員承擔的國家項目進度會議

　　聯盟成員共同承擔了國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”項目9項，開展凸點封裝光刻機、干式投影光刻機、浸沒光刻機和EUV光刻機整機等集成電路最關鍵制造裝備的研發，聯盟成員共同承擔了整機及關鍵零部件系統的研發，每個季度召開季度例會，開展技術討論和協調研發進度。光刻設備聯盟秘書處參與季度例會的組織和協調。

　　4、建立了聯盟專利數據庫系統

　　為了加強光刻設備產業技術創新戰略聯盟知識產權的管理，使聯盟成員單位掌握知識產權動態，促進知識產權應用和擴散，全面提高知識產權創造、運用、保護和管理能力，聯盟委托上海微電子裝備有限公司組織開發了《光刻專利情報與戰略管理系統》(以下簡稱“IPS”)，已正式投放運行。IPS以通用商業專利庫為收錄信息源頭，增設了一系列用于分析管理的著錄專欄，使記載的專利信息更加全面地反映了相關行業的專利分布特征，在此基礎上，開發了組合查詢、分類統計、關鍵字提煉、檢索式構建、前后引搜索等信息運用功能，使行業內相關企業在開展專利情報調查、跟蹤關注競爭廠商專利申請布局、技術路線分析、專利戰略制定、專利資產管理等工作得到有效的支持。

　　5、組織聯盟成員單位員工培訓

　　光刻設備聯盟第二次培訓班于2012年8月13日至14日在上海太陽島度假酒店舉行。光刻設備聯盟邀請上海微電子裝備有限公司質量保證與過程改進部經理楊鋒力擔綱本次培訓班的講師，來自聯盟的9家成員單位，共29名相關人員參加了培訓。本次聯盟培訓共分為四個培訓課題，培訓內容涉及項目策劃、需求工程、系統設計、樣機試制等方面。本次培訓工作，以講師主講和參會人員分組討論相結合的方式，幫助參會人員進一步了解產品開發流程，提高了參會人員的項目策劃過程與管理能力、需求開發與需求管理能力、系統設計與設計變更能力，同時增加了聯盟成員間之間的互相了解和深入的溝通。本次培訓工作前期準備充分，培訓課堂互動氛圍熱烈，達到了預期的培訓效果。

　　6、出刊簡訊

　　光刻設備聯盟籌辦了自己的《簡訊》，主要介紹國家有關光刻設備發展的政策和法規、聯盟活動動態、02專項進展情況、光刻設備技術與產業全球動態、聯盟成員單位的研發與經營活動等，實現信息在聯盟成員間的快速傳播和共享。《簡訊》由聯盟秘書處負責組織編寫出刊，每6個月一期，每年的6月和12月正常出刊，至今已經出刊4期。

　　四、聯盟運行模式及機制

　　光刻設備聯盟依托理事長單位(上海微電子裝備有限公司) 的管理資源，精簡高效地開展各項工作，聯盟內部組織構架設置緊緊圍繞光刻設備的技術特征，建立了一套科學的管理系統來管理聯盟業務，控制可能的聯盟風險，完善與創新產學研戰略聯盟的機制，形成聯盟可持續發展的運行模式與機制，具體如下：

　　1、共同研發、利益共享。分系統或單元因技術難度高，需要大量的研發投入，難以找到合作企業，一般先擇與聯盟中的高校與研究所合作，由國家、地方共同投入研發;高校和研究所，參與研發分系統和單元技術，承擔研發技術風險，一旦研發的分系統和單元技術成熟，通過成立企業，轉化為相應部件的長期供應商;聯盟中的企業參與零部件的技術攻關，一旦性能滿足要求，轉為長期供應商。

　　2、優勢互補，形成全面解決方案。過去聯盟成員面對同一客戶，產品獨立銷售，難以與國外產品形成配套，產品市場競爭力不強，不易被客戶接受;聯盟成員組織聯合攻關，解決產品間的配套問題，減少客戶使用的風險，通過相互間的技術互補，為用戶提供完整的技術解決方案，從而提供市場競爭力;正在形成先進封裝中光刻、IC前道光刻的全面解決方案。

　　3、加強知識產權的具體實施工作，構筑專利池，產權保護與轉讓并舉。光刻設備是技術密集型、資金密集型、勞動密集型，除了產品性能、企業并購外，知識產權訴訟是同行之間競爭的常用手段;按照技術和利益相關原則，建立聯盟專利池，維護共同的利益，降低我國光刻設備參與全球市場競爭過程中的知識產權訴訟風險;圍繞IC光刻機、平板顯示光刻機建立專利池，將零部件供應商與專利池聯系起來;建立具有市場應用前景衍生技術的專利池，如激光干涉測量儀專利池、磁浮平面電機專利池，實現產品參與市場競爭的保護和為技術轉讓奠定基礎。

　　五、聯盟常設執行機構情況

　　光刻設備聯盟依托理事長單位上海微電子裝備有限公司建立了聯盟秘書處,聯盟秘書處現有秘書長和副秘書長各一人，專職秘書一人。聯盟秘書處自聯盟組建起，先后制定并實施了《光刻設備聯盟經費管理辦法》、《光刻設備聯盟項目管理辦法》、《光刻設備聯盟知識產權管理辦法》。

　　聯盟經費由理事會授權秘書處所在單位負責專款專用，實行獨立的財務預決算管理。嚴格執行國家規定的財務管理制度，接受經理事會確認的會計事務所審計和報理事會審查。目前，各成員單位按照聯盟協議，相繼投入了活動經費，秘書處全部用于聯盟開展的各項活動、技術研討、創新服務，以及與聯盟工作有關的公用辦公、專項工作和日常管理等開支。

　　作為聯盟的常設執行機構秘書處執行聯盟大會及理事會決議，負責聯盟成員單位的日常組織和協調工作。聯盟自籌建以來，每年都組織召開了1次以上理事會議，會議主要審議聯盟工作報告和下一年度工作計劃要點等。

　　六、存在問題

　　1、進一步推進聯盟制度化和規范化建設

　　進一步完善聯盟的組織構架，確保聯盟理事會、專家技術委員會、秘書處的有效運行;根據聯盟運行和形式發展，完善聯盟理事會、專家技術委員會、秘書處等的運行和工作制度，強化聯盟秘書處的日常運行。不斷優化項目運行與管理機制，建立聯盟承擔國家科技計劃項目的機制，完善項目管理辦法和經費管理方法，積極開展技術研發，加快成果轉化，培養技術和管理人才，改善技術創新管理水平。進一步探討聯盟未來發展問題，推進聯盟的組織化、制度化、規范化等問題。

　　七、下一步工作計劃

　　1、繼續組織實施國家科技重大專項任務，提升產業創新能力

　　組織實施好 “極大規模集成電路制造裝備及成套工藝” 國家科技重大專項，繼續推進前道光刻機項目、先進封裝光刻機項目等，為現代先進制造裝備提供技術支撐。

　　2、積極推進聯盟的相互合作，形成上下游供應鏈

　　為了更好地發揮光刻設備產業技術創新聯盟在行業中的引領作用，形成優勢互補，優化創新資源要素，突破行業技術難關，要不斷加強聯盟成員間的相互合作，資源共享，形成產業鏈技術創新支持平臺。同時通過分工協作，建立完整的光刻設備關鍵技術研發體系和關鍵零部件供應鏈體系。

　　3、積極發揮產學研合作優勢

　　發揮聯盟的產學研用合作優勢，研發完成完整的光刻設備系列產品，支撐我國集成電路產業的發展。

　　光刻設備產業技術創新戰略聯盟

　　二〇一三年三月十八日